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1. 任何拆裝工作必須由維修技術(shù)人員擔任,維修技術(shù)人員必須熟悉真空泵浦相關(guān)的安全守則,使用適當?shù)难b 備進行拆解、清潔已經(jīng)接觸過製程的*件。 2. 真空泵浦未*停止運轉(zhuǎn)之前,不得移動、拆解組裝以免發(fā)生危險,並確認電源已經(jīng)切斷。 3. 請注意殼體、排氣管及加熱器等溫度較高之元件週遭,以避免人員燙傷。 4. 進行任何拆卸之前,先使用氮氣對真空泵浦作適當?shù)拿C清,至少一小時。 5. 本機各元件及管路均可能存有殘留氣體,拆裝前應先確認機組壓力已*排出。 6. 使用過O型環(huán),請勿再使用。小心謹慎處理密封面,禁止刮傷。任何拆裝、維修保養(yǎng)之後,必須測漏試 驗。 7. 當真空泵浦不當操作、故障、火災或其他因素造成超過260℃時,真空泵浦內(nèi)部的真空油、真空油脂、O 型環(huán)、表面氟化處理等含氟化合物可能被熱分解,請勿接觸或吸入。 8. 依據(jù)環(huán)保法規(guī)處理真空油、真空油脂、其他廢棄物。 |
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