工控摘要：擴(kuò)散硅壓力變送器抗過載和抗沖擊能力強(qiáng)，過壓可達(dá)量程的數(shù)倍，甚至用硬物直接敲打測(cè)量元件也不致使其損壞，且對(duì)測(cè)量精度毫無影響。穩(wěn)定性高，每年優(yōu)于0.1%滿量程，這個(gè)技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到智能型壓力儀表水平；溫度漂移小，由于取消了壓力測(cè)量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測(cè)量精度，且受溫度梯度影響極小。
　　
　　關(guān)于擴(kuò)散硅壓力變送器的具體技術(shù)特性，接下來一一為大家講解：
　　
　　1、精度高擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體，無機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。因此綜合表態(tài)精度很高。
　　
　　2、可靠性高擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片zui大位移量在來微米數(shù)量級(jí)，且無機(jī)械磨損，無疲勞，無老化。平均*時(shí)間長(zhǎng)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
　　
　　3、靈敏度高擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接囗電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辯率*。
　　
　　4、頻響高由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。
　　
　　5、度性能好隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、計(jì)算機(jī)自動(dòng)休整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/℃數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高。
　　
　　6、擴(kuò)散硅壓力變送器的抗電擊穿性能好由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。
　　
　　7、耐腐蝕性好由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時(shí)結(jié)構(gòu)工藝更易于實(shí)現(xiàn)。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆的特點(diǎn)，可替代諸多同類型的同功能產(chǎn)品，具有*良的性能價(jià)格比。