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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地合肥市
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更新時(shí)間:2022-08-01 16:02:34瀏覽次數(shù):567次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 智能制造網(wǎng)產(chǎn)品名稱:DS-2000/14G型光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo):單次曝光面積:1.4mm×1mm曝光基片:100mm×100mm對(duì)準(zhǔn)精度:±0.8μm(半自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))膠厚:300μm(SU8膠)自動(dòng)逐場對(duì)焦
產(chǎn)品名稱:DS-2000/14G型光刻機(jī) | ||
主要技術(shù)指標(biāo): | ||
單次曝光面積:1.4mm×1mm | ||
曝光基片:100mm ×100mm | ||
對(duì)準(zhǔn)精度:±0.8μm(半自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)) | ||
膠厚:300μm(SU8膠) | ||
自動(dòng)逐場對(duì)焦; | ||
分辨力:1μm; | ||
X、Y、Z、θ四自由度電動(dòng)位移臺(tái) | ||
X、Y平移重復(fù)定位精度:0.65μm(3σ) | ||
Z向運(yùn)動(dòng)精度:1μm | ||
技術(shù)特點(diǎn): | ||
該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長的極紫外光作為光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板,采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明,并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(可同時(shí)使用),拼接獲得大面積圖形,曝光設(shè)定采用微機(jī)控制,菜單界面友好,操作簡便。 |
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