儀器介紹：

高真空退火爐/高溫介電溫譜儀華測(cè)儀器通過(guò)一種可實(shí)現(xiàn)精度高，高反射率的拋物面與高質(zhì)量的加熱源相配置儀器——高真空退火爐。它能在高速加熱高速冷卻時(shí)，具有良好的溫度分布。設(shè)備可組成均熱高速加熱爐，溫度斜率爐，階段加熱爐。可實(shí)現(xiàn)寬域均熱區(qū)，高速加熱、高速冷卻，用石英管保護(hù)加熱式樣，無(wú)氣氛污染?？稍诟哒婵?，高出純度氣體中加熱。還能節(jié)省時(shí)間并提高實(shí)驗(yàn)速度；不需特殊的安裝條件及對(duì)加熱試樣的要求；安裝簡(jiǎn)單，有冷卻系，安全可靠；提高試驗(yàn)人員的工作效率，實(shí)現(xiàn)溫度控制操作。

高真空退火爐

高真空退火爐/高溫介電溫譜儀設(shè)備優(yōu)勢(shì)：

1、它可以勻速、階梯（升降溫）、循環(huán)沖擊、真空、氣氛等多種的加熱方式。

2、采用移相觸發(fā)技術(shù)，*可實(shí)現(xiàn)控制精度波動(dòng)0.5℃以內(nèi)，溫控精度之高。

3、加熱速度之快，同時(shí)它可以提供材料多種測(cè)試環(huán)境。

設(shè)備結(jié)構(gòu)：

儀器試樣試驗(yàn)：

應(yīng)用：

樣品腔內(nèi)徑≥30mm；      退火爐外徑：≤100mm

1、電子材料

半導(dǎo)體用硅化合化的PRA (加熱后急速冷卻）

熱源薄膜形成

激活離子注入后

硅化物的形成

2、陶瓷與無(wú)機(jī)材料

陶瓷基板退火爐

玻璃基板退火爐。

3、鋼鐵和金屬材料

薄鋼板加熱過(guò)程的數(shù)值模擬

爐焊接模擬

高真空熱處理（1000°c以下）

大氣氣體熔化過(guò)程

壓力下耐火鋼和合金的熱循環(huán)試驗(yàn)爐

4、復(fù)合材料

耐熱性評(píng)價(jià)爐

無(wú)機(jī)復(fù)合材料熱循環(huán)試驗(yàn)爐

5、其他

高溫拉伸壓縮試驗(yàn)爐

分段分區(qū)控制爐

溫度梯度爐

爐氣分析

超導(dǎo)陶瓷退火爐