張經(jīng)理
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小型離子濺射儀現(xiàn)貨 小型離子濺射儀現(xiàn)貨
庫號:M250167 查看hh
YBT3-ETD-3000 型離子濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計而成的,簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。
適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實驗電極制作。
特點:
1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);
2. 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體,獲得鍍膜效果;
3. 特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象;
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用;
5. 根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
配置參數(shù):
? 1、靶(上部電極):金:直徑:50mm,厚度:0.12mm
? 2、真空樣品室: 直徑:160mm,高:120mm
? 3、濺射面積: Ф50mm,大放置
? 4、真空指示表: 高真空度:≤ 4X10-2 mbar
? 5、離子電流表: 大電流:(50mA)100mA
? 6、定時器: 長時間:900S
? 7、微型真空氣閥: 可連接φ3mm軟管
? 8、可通入氣體: 多種
? 9、高電壓: -3000DCV
? 10、機械泵: 2L/S