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真空機(jī)械手PHOENIX-S25系列

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地沈陽市

更新時(shí)間：2025-01-17 08:57:52瀏覽次數(shù)：126次

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直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求......

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  • 安全穩(wěn)定可靠
    具有性能安全穩(wěn)定可靠，運(yùn)行平穩(wěn)性好等特點(diǎn)
  • 多種優(yōu)勢(shì)
    具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢(shì)
  • 作業(yè)空間利用率高
    適用于潔凈領(lǐng)域，輕量級(jí)設(shè)計(jì)使其與產(chǎn)線融于一體，作業(yè)空間利用率高
  • 技術(shù)
    其控制技術(shù)，動(dòng)作靈活輕巧快捷，操作持久耐用
  • 多種優(yōu)良特性
    滿足各類柔性化集成和生產(chǎn)等優(yōu)良特性于一體

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
  • 半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 晶圓尺寸

    φ200mm

  • 負(fù)載重量

    ≤0.5Kg

  • R軸重復(fù)定位精度

    ±0.05mm

  • θ軸重復(fù)定位精度

    ±0.006°

  • Z軸重復(fù)定位精度

    ±0.05mm

  • R軸行程

    ≤703mm

  • T軸行程

    360°

  • Z軸行程

    35mm

  • 真空度

    ＜1×10-7 Torr

  • 漏率

    ＜1×10-9 std.cc/sec He

  • 整機(jī)重量

    50kg

真空機(jī)械手 Archer 系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新

大氣機(jī)械手Blade-S225

大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂采用的結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了

真空機(jī)械手 SM11

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行

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