Heimann Sensor真空傳感器HVS 系列
產(chǎn)品型號(hào)：HVS vac04
關(guān)鍵字：Heimann Sensor真空傳感器HVS系列
關(guān)鍵字描述：HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片。
產(chǎn)品介紹：HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片。硅批處理技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小型化和低成本大批量生產(chǎn)。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量范圍擴(kuò)展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼（Pirani）型傳感器，基于薄微機(jī)械膜上的加熱電阻器結(jié)構(gòu)，傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。
參數(shù)：
參數(shù) | HVS Vac03g | HVS Vac03k | HVS Vac04 | 單位 |
外殼 | TO8 | TO39 | TO39（單個(gè)） TO8（雙） |
|
芯片尺寸 | 5.2x5.2 | 4.0x4.0 | 1.2x1.2 | mm2 |
傳感器電阻RP（典型值） | 8.5 | 8.5 | 1 | kOhm |
片上參考電阻RK（典型值） | 8.5 | 8.5 | 1 | kOhm |
電源電壓U0 (max.)
| 3.5
| 3.2
| 4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar） | volt |
工作溫度 | -20..120 | °C | ||
儲(chǔ)存溫度 | -40..120 | °C | ||
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