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D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱諾賽德自動化設備(蘇州)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/5/22 15:43:01
  • 訪問次數108
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諾賽德自動化設備(蘇州)有限公司是一家從事研發(fā)、生產及銷售精密坐標測量機,影像測量機,三維掃描儀,高度測量儀等專業(yè)計量設備與儀器的合資企業(yè)。 諾賽德自動化設備(蘇州)有限公司是我國較早將三維激光掃描技術產業(yè)化的企業(yè),具有很強的研發(fā)與生產能力,為中國市場提供了包括一維高度尺、二維影像與三維坐標測量機等在內的多種產品,產品品質優(yōu)良,市場影響力深廣。 思瑞(Serein)現為諾賽德自動化設備(蘇州)有限公司銷售品牌之一。思瑞立足于中國市場,依托集團化的資源優(yōu)勢,國際化的管理體系,引進的產品設計理念,制造工藝和質量控制流程,確保產品的技術*性和品質的可靠性。公司總部及生產基地設在深圳,在全國設有廣泛的銷售網絡和服務網點,可以為客戶提供*可靠的放心產品和專業(yè)高效的貼心服務,讓您在瞬息萬變的市場占得先機,嶄新的諾賽德自動化設備(蘇州)有限公司將以“技術*、品質優(yōu)良、功能實用、價格適中”的市場定位與“服務大眾,做制造廠商平易而貼心的合作伙伴”的經營宗旨,為中國乃至制造業(yè)的朋友提供高優(yōu)性價比的測量技術產品與優(yōu)良服務。公司資質————公司將以“技術*、品質優(yōu)良、功能實用、價格適中”的市場定位與“服務大眾,做制造廠商平易而貼心的合作伙伴”的經營宗旨,為中國乃至制造業(yè)的朋友提供高優(yōu)性價比的測量技術產品與優(yōu)良服務。
透光度儀刪除
產品介紹 KLA的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。
D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀 產品信息

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       KLA的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。


二、 功能


    設備特點


    臺階高度:幾納米至1200μm


    低觸力:0.03至15mg


    視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭


    梯形失真校正:消除側視光學系統引起的失真


    圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差


    緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀


    軟件:用戶友好的軟件界面


    主要應用


    臺階高度:2D臺階高度和3D臺階高度


    紋理:2D粗糙度和波紋度


    形式:2D翹曲和形狀


    應力:2D薄膜應力


     應用領域


    大學,研究實驗室和研究所


    半導體和復合半導體


    SIMS:二次離子質譜


    LED:發(fā)光二極管


    太陽能


    MEMS:微電子機械系統


    汽車


    醫(yī)療設備


    三、應用


    臺階高度


    Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1200μm的2D和3D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料。


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紋理:粗糙度和波紋度


       Alpha-Step D-600測量2D和3D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數。


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外形:翹曲和形狀


       Alpha-Step D-600可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導體或化合物半導體器件生產過程中,多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。


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應力:2D薄膜應力


       Alpha-Step D-600能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產生的應力。使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。


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